清浄度クラスとは？
クリーンルームには、多種多様な清浄度クラスがあります。
クリーンルームは一般的に空気中の微粒子が少ない空間ですが、その中でもどのぐらい微粒子が少ないのかという点を数値化したものが清浄度の規格です。
清浄度の規格には、ISOやJISなどいくつかの種類がありますが、現在国際統一規格となっているのはISOです。
ISO規格はClass1～9で清浄度を分類
清浄度を示すISO規格では、1㎥当たりの空気中にどのぐらいの数の粒子があるかという点で、Class1から9まで9段階での分類をしています。
しかし業界においては1㎥当たりではなく、アメリカ規格となっている1立方フィート当たりの粒子数をカウントすることが多いです。
カウントの対象となるのは、0.5μm以上の大きさを持つ粒子です。
対象となる粒子の数をカウントし、1立方フィート当たりに100子以下の場合にはクラス5となります。
清浄度クラスの呼び方は、クラス5と呼ぶこともあれば、粒子数に合わせてクラス100と呼ぶこともあります。
清浄度が最も高いクラス1およびクラス2では、0.5μm以上のサイズを持つ粒子は0個でなければいけません。
この場合、粒子のサイズが0.5μmよりも小さなものの数をカウントし、0.1μmが10個以下、0.2μｍのものが2個以下なら最高レベルの清浄度となるクラス1に分類されます。
クラス2では、0.1μmのものは100個以下、0.2μmのものは24個以下、0.3μmのものは10個以下、そして0.5μm以下のものは4個以下の場合に分類されます。
ISO規格における分類の中でも、最も清浄度が低いとされるクラス9では0.5μm以上のサイズを持つ粒子のカウントは行われません。
その代わりに、1.0μｍ以下のサイズのものは832万個以下、5.0μmのものなら29.3万個以下ならクラス9に該当します。
清浄レベルは数字が小さいほうがベター
ISO規格による清浄レベルは、クラス1～9でも、粒子の数によって示すクラス1やクラス1,000の場合でも、数字は少ない方が高い清浄レベルとなります。
各業界や分野において、どのぐらい高い清浄レベルが必要かという点は異なります。
最も高い清浄レベルを必要とするのは半導体工場で、クラス1～100が必要です。
クラス100～10,000の清浄レベルが求められるのは電子部品工場や光学機械工場、また精密工場などです。
また、薬品工場や食品工場でも、虫対策としての清浄レベルが必要で、クラス100～クラス10万が適用範囲となります。
クリーンルームは必要だけれどクラス1,000～10万レベルでOKなのは、印刷工場や自動車部品工場、また花粉症対策や医療機関の手術室などが該当します。