異物監視システム

異物監視システム「EVE」について

今後の日本のものづくりにおいて、生産性面で重要となってくると言われているのが、ロボット化、ファクトリーオートメーション化です。

さらに、その中のクリーン化という分野で重要となるのが、異物監視システムです。
クリーンルーム内をいくらクリーンにしていても、作業をする人の衣服などがゴミだらけであるためにしっかりとした管理や教育が必要になっているのですが、これがロボット化時代へと突入すれば、また新しい問題が表面化してくることになります。
異物監視システムは、こういった問題に関係してきます。
「EVE」は、そんな異物監視システムの1つです。

重要なのは、環境をクリーンにすること、そして既に付着してしまっている異物を除去することです。
異物監視システム「EVE」は、既に付着している異物を除去するための機能を組み込む、という工程を前提としています。
エア洗浄によって飛ばされる埃をセンシングし、排気中測定によって埃への対策をさらに的確に行えるようになります。
さらに、ロット異常の感知や自動でのデータ作成、フィードバック機能といった便利な機能も付随しています。

ファクトリーオートメーション化の問題と「EVE」

ファクトリーオートメーション化で具体的に問題となるのは、どのようなことでしょうか。
クリーンルームというのは、空気中に浮遊する微粒子の濃度コントロールが可能ですが、組立治具、部材、製品などに既に付着している塵埃の除去はできません。
ですから、外部から持ち込まれた資材や部品に付着している塵埃の除去には、そのための工程が必要になってきます。
これには溶剤や純水などを使うウエット洗浄、エアジェットで洗浄するエア洗浄がありますが、ウエット洗浄は非常にコストがかかってしまいます。
これと比較すれば、エア洗浄は経済的ですがエアジェットで飛ばしただけで塵埃が消えるわけではありませんから、飛ばされていった塵埃が再付着することがないように細心の注意が必要です。

ここで重要になってくるのが、飛ばされた塵埃量からのデータ取得です。
異物監視システムである「EVE」は、エアによって飛ばされた塵埃を集塵機の経路内でセンシングし、異物監視します。
これまでのようにパーティクルカウンターによるデータとの相関を考えるのとは違い、良品の割合と実際に飛ばされた塵埃の相関をダイレクトに、そして瞬時に判断することができます。
さらに、「EVE」は拡張機能でエアによって飛ばされた塵埃の量に対し、任意の閾値設定が可能となっています。

たとえば、設定した閾値を超える量の塵埃が検出されれば信号を出します。
この信号を利用し、エアジェットのリトライやライト点灯などのシーケンスが組めるのです。
この他、各種レポート作成、ロットの異常信号、データ保管などの様々な機能もついています。