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パーティクルカウンター(微粒子計測器)

パーティクルカウンター(微粒子計測器)の特徴と用途とは?

パーティクルカウンター(微粒子計測器)とは、液体の中もしくは空気中に存在する微粒子の数を測る装置です。
その仕組みは、レーザー光線を計測したい部分に照射すると中に含まれている微粒子が散乱光を発するため、その散乱校の強さを測るというものです。
原則として微粒子が大きくなると、散乱光が強くなる傾向がありますので、その光を電気信号で検知します。
そして、散乱光の数をどのくらいの電気信号が発せられているかによって計測することによって、微粒子の大きさと数を判定できるというわけです。

このパーティクルカウンター(微粒子計測器)は、主にクリーンルーム内に設置されています。
クリーンルームはエアフィルターによって空気中の微粒子を捕集しているのですが、エアフィルターが正常に稼働しているか、外部から微粒子が入り込んで汚染されていないかを確かめる目的で計測がなされます。
こうした用途ですので、基本的にパーティクルカウンター(微粒子計測器)は常時稼働となっています。
そして、管理室などで集中的に計測データをチェックして、クリーンルーム内の状態をモニターしているわけです。

パーティクルカウンター(微粒子計測器)で計測できる微粒子は多岐にわたります。
衣類からでる繊維によるホコリや、髪の毛、皮膚のかけらといった作業者経由で出るものが全体としては多いです。
他にも、大気中に漂う花粉や微小な砂、煙なども内部に侵入してくることがあります。

こうした微粒子はほとんどパーティクルカウンター(微粒子計測器)で計測することができます。
レーザー光で計測する仕組みであることから、光を反射する物質であれば基本的には何でも計測可能というわけです。

パーティクルカウンター(微粒子計測器)の必要性について

クリーンルームは液晶や半導体などの精密部品を製造する工場や、細菌による汚染があってはならない手術室などで使用されています。
入り口で汚染物質を空気の力で取り除くと共に、クリーンルーム内に設置されているエアフィルターで微粒子を排除します。
しかし、こうした微小な汚染物質は目には見えませんし、匂いがないことも多いです。
そのため、人間の感覚では汚染されているのかどうか判別できないのです。

そこで、レーザー光の力で常時計測ができるパーティクルカウンター(微粒子計測器)が必要となるわけです。
万が一クリーンルームの壁にすき間が生じて、外部の空気が流入したり、作業者がしっかりと洗浄をせずに入室したりして、汚染物質が増えた時に直ちに発見することができます。
また、エアフィルターの機能が低下していたり、知らないうちに動作が止まったりした時にも徐々に微粒子の濃度が増えていきますので確認できます。